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表面化学分析 原子力显微术 二硫化钼片层材料厚度测量方法

标 准 号: GB/T 40128-2021
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 国家纳米科学中心、上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司、上海市计量测试技术研究院
发布日期: 2021-05-21
实施日期: 2021-12-01
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更新日期: 2021年07月15日
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内容摘要

本文件规定了利用原子力显微术测量层状二硫化钼纳米片厚度的测量方法。
本文件适用于转移或生长在固体衬底表面的层状二硫化钼纳米片厚度的测量,测量范围从单层二硫化钼纳米片至厚度不大于100 nm,其他类似的纳米片层材料厚度测量也可参照此方法进行。

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