本文件规定了六氯乙硅烷的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于由生产多晶硅副产的六氯乙硅烷经纯化制备的电子用六氯乙硅烷。
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