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电子特气 一氧化氮

标 准 号: GB/T 42721-2023
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 江西华特电子化学品有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司等
发布日期: 2023-08-06
实施日期: 2024-03-01
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更新日期: 2023年09月07日
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内容摘要

本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。

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