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电子工业用气体 氨

标 准 号： GB/T 14601-2009
替代情况： 替代 GB/T 14601-1993
发布单位： 国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位： 大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院
发布日期： 2009-10-30
实施日期： 2010-05-01
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更新日期： 2010年11月09日
下载地址：点击这里 476.55 KB
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内容摘要

本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。
本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。

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