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电子级混合气体配制技术要求

标 准 号： TCCGA 30009-2025
替代情况：
发布单位： 中国工业气体工业协会
起草单位： 北京首钢气体有限公司、中国工业气体工业协会、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司
发布日期： 2025-04-25
实施日期： 2025-05-25
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更新日期： 2025年06月11日
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内容摘要

本文件规定了电子级混和气体的配制或生产的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求，标志、包装及使用要求。

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