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泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法

标 准 号： T/CCGA 90004-2023
替代情况：
发布单位： 中国工业气体工业协会
起草单位： 埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国） 有限公司、中国电子气体生产与利用百人会
发布日期： 2024-12-12
实施日期： 2024-12-12
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更新日期： 2025年05月16日
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内容摘要

本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。

上一篇： 氢化改性环氧美缝剂
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