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碳化硅单晶片微管密度测试方法

标 准 号： GB/T 30868-2025
替代情况： 替代 GB/T 30868-2014;GB/T 31351-2014
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 安徽长飞先进半导体股份有限公司、浙江晶瑞电子材料有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司等
发布日期： 2025-08-01
实施日期： 2026-02-01
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更新日期： 2026年09月04日
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内容摘要

本文件描述了碳化硅单晶片的微管密度的测试方法，包括化学腐蚀法和偏振光法。
本文件适用于碳化硅单晶片微管密度的测试。

上一篇： 金属钙分析方法 第2部分：光度法测定微量硅
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