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III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法

标 准 号： GB/T 44558-2024
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 东莞市中镓半导体科技有限公司、TCL环鑫半导体(天津)有限公司、苏州大学等
发布日期： 2024-09-29
实施日期： 2025-04-01
点 击 数：
更新日期： 2025年08月21日
内容摘要

本文件描述了用透射电子显微镜测试Ⅲ族氮化物半导体材料中位错成像的方法。本文件适用于六方晶系Ⅲ族氮化物半导体的薄膜或体单晶中位错成像的测试。

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