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砷化镓表面砷镓比的测试方法

标 准 号: SJ 20842-2002
替代情况:
发布单位: 信息产业部
起草单位: 中国电子科技集团公司第四十六所
发布日期: 2002-10-30
实施日期: 2003-03-01
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更新日期: 2025年04月22日
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内容摘要

本标准规定了砷化镓材料表面镓砷比的X射线光电子能谱的试验方法。本标准适用于监测砷化镓器件制造过程中各种表面处理对砷化镓晶片表面镓砷比的影响,也适用于晶片加工中的各种表面处理。

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*本标准来自网友 lee1004 分享,只作为网友的交流学习之用。
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