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砷化镓单晶AB微缺陷密度定量检验方法

标 准 号： SJ 20843-2002
替代情况：
发布单位： 信息产业部
起草单位： 中国电子科技集团公司第四十六所
发布日期： 2002-10-30
实施日期： 2003-03-01
点 击 数：
更新日期： 2025年04月22日
下载地址：点击这里 201.60KB
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内容摘要

本标准规定了砷化镓单晶中AB微缺陷密度的定量检验方法。

下一篇： 砷化镓表面砷镓比的测试方法
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