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半导体制造设备人机界面规范

标 准 号： SJ/T 11763-2020
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 工业和信息化部电子第五研究所
发布日期： 2020-12-09
实施日期： 2021-04-01
点 击 数：
更新日期： 2022年01月07日
下载地址：点击这里 9.98MB
下载点数：20点（VIP会员免费）
内容摘要

本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。
本标准适用于半导体制造设备。

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