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电子工业用气体 砷化氢

标 准 号: GB/T 26250-2010
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位: 西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
发布日期: 2011-01-14
实施日期: 2011-05-01
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更新日期: 2012年07月05日
内容摘要

      本标准规定了砷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 
      本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中,砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。

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