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微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定

标 准 号: GB/T 17473.6-2008
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位: 贵研铂业股份有限公司
发布日期: 2008-03-31
实施日期: 2008-09-01
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更新日期: 2020年11月06日
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内容摘要

本标准代替GB/T17473—1998 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》(所有部分),本标准分
为7个部分,本部分为GB/T17473—2008的第6部分。 本部分规定了微电子技术用贵金属浆料分辨率的测定方法。
本部分适用于微电子技术用贵金属浆料的分辨率测定。 本部分代替GB/T17473.6—1998 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定》。
本部分与GB/T17473.6—1998相比,主要有如下变动:
———将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定;
———增加了固化型贵金属浆料分辨率测定的内容;
———原“光刻膜丝网网径2025μm 不锈钢丝网”改为“光刻膜丝网,丝网孔径不大于54μm”;
———增加6.3将印有固化型的试样按其规定的工艺要求进行静置、烘干、固化,固化后试样膜厚控制在1μm~15μm;
———分辨率规格分级重新定义为0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm 五个级别。

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