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纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法

标 准 号: GB/T 43682-2024
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 泰州巨纳新能源有限公司、中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发布日期: 2024-03-15
实施日期: 2024-07-01
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更新日期: 2024年04月30日
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内容摘要

本文件描述了亚纳米厚度石墨烯薄膜的霍尔器件样品制备与载流子迁移率及方块电阻测量的原理、设备、器件制备及测量过程、计算方法、不确定度的分析与计算,以及测量报告等。


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