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表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准

标 准 号: GB/T 29732-2021
替代情况: 替代 GB/T 29732-2013
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 清华大学、中国石油大学(北京)
发布日期: 2021-12-31
实施日期: 2022-07-01
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更新日期: 2022年05月02日
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内容摘要

本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为 ?2 eV?,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。

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