本标准规定了含氟蚀刻废液组成、处理处置方法及环境保护要求。
本标准适用于TFT-LCD液晶显示屏玻璃蚀刻、光伏行业蚀刻、IC硅片蚀刻、电极箔蚀刻及稀土蚀刻所产生含氟蚀刻废液的处理处置。
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