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硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

标 准 号: GB/T 28275-2012
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所等
发布日期: 2012-05-11
实施日期: 2012-12-01
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更新日期: 2016年11月24日
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内容摘要

本标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。
本标准适用于氢氧化钾腐蚀工艺和管理。

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