电子工业用气体 氩

　　本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
　　本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。
　　氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。