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微机电结构动态位移参数的激光多普勒测量方法

标 准 号: GB/T 48096-2026
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 浙江舜辉光学科技有限公司、余姚舜宇智能光学技术有限公司、中国计量大学、 中国科学院空天信息创新研究院
发布日期: 2026-08-28
实施日期: 2026-12-01
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更新日期: 2026年10月12日
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下载点数:30点(VIP会员免费)
内容摘要

本文件规定了微机电结构动态位移参数激光多普勒测量的原理、测量条件、仪器设备、样品、测量步骤。


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