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集成电路用高纯铜合金靶材

标 准 号: GB/T 39159-2020
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波微泰真空技术有限公司
发布日期: 2020-11-19
实施日期: 2021-10-01
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更新日期: 2021年01月18日
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内容摘要

本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材(以下简称靶材)的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝(CuAl)合金靶材和高纯铜锰(CuMn)合金靶材。

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