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金属覆盖层覆盖层厚度测量轮廓仪法

标 准 号: GB/T 11378-2005
替代情况: 替代 GB/T 11378-1989
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检验总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位: 机械工业表面覆盖层产品质量监督检测中心
发布日期: 2005-06-23
实施日期: 2005-12-01
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更新日期: 2020年05月06日
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内容摘要

本标准规定了金属覆盖层厚度的一种测量方法。该方法是首先在覆盖层表面和基体金属表面之间形成一个台阶,然后应用轮廓记录仪测量台阶的高度。本标准具体规定了仪器的特性以及轮廓仪法的特殊测量规程。本方法适用于测量平表面上厚度0.0l/μm~1 000/μm的金属覆盖层厚度,如果采取适当措施,也可以测量圆柱表面。它非常适合于微小厚度的测量,但对厚度小于0.01μm的工作表面平直度、平滑度的要求非常严格,因此建议不要在电子触针式仪器的最低厚度范围内采用本标准。本方法适用于制备覆盖层厚度标准片厚度的测量。

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