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氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

标 准 号: GB/T 36705-2018
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期: 2018-09-17
实施日期: 2019-06-01
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更新日期: 2019年01月17日
下载地址:点击这里 1.90 MB
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内容摘要

本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。

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