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含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

标 准 号： GB/T 37959-2019
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院
发布日期： 2019-08-30
实施日期： 2020-03-01
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更新日期： 2026年08月14日
下载地址：点击这里 2.52 MB
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内容摘要

本标准规定了含工艺腔室类集成电路的IC装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路的IC装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。  
本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。

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