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半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分:静电放电(ESD)敏感度测试 机器模型(MM)

标 准 号: GB/T 4937.27-2023
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 佛山市川东磁电股份有限公司、广东省中绍宣标准化技术研究院有限公司
发布日期: 2023-05-23
实施日期: 2023-12-01
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更新日期: 2023年11月01日
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内容摘要

本文件依据半导体器件对规定的机器模型(MM)静电放电(ESD)所造成损伤或退化的敏感度,建立了半导体器件ESD测试和分级的标准程序。
本文件相对于人体模型ESD,用作一种可选的测试方法,目的是提供可靠、可重复的ESD测试结果,以此进行准确分级。
本文件适用于半导体器件,属于破坏性试验。半导体器件的ESD测试从本文件、人体模型(HBM见GB/T 4937.26)或GB/T 4937系列中的其他测试方法中选择。MM与HBM测试的结果相似但不完全相同。除另有规定外,HBM测试方法为所选方法。

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