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微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

标 准 号： GB/T 42897-2023
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 深圳市美思先端电子有限公司、无锡韦感半导体有限公司、广州奥松电子股份有限公司等
发布日期： 2023-08-06
实施日期： 2023-12-01
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更新日期： 2023年09月24日
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内容摘要

本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。
本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。

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