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MEMS 加速度传感器参数标定工艺技术要求

标 准 号： SJ 21263-2018
替代情况：
发布单位： 国家国防科技工业局
起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所
发布日期： 2018-01-18
实施日期： 2018-05-01
点 击 数：
更新日期： 2022年09月17日
下载地址：点击这里 4.07 MB
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内容摘要

本标准规定了MEM加速度传感器制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。


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