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重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

标 准 号： SJ 3248-1989
替代情况：
发布单位： 机械电子工业部
起草单位： 机械电子工业部第四十六研究所
发布日期： 1989-03-20
实施日期： 1989-03-25
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更新日期： 2021年12月02日
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内容摘要

木标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理、仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。


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