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压电器件用五氧化二钽薄膜规范

标 准 号： SJ 20518-1995
替代情况：
发布单位： 电子工业部
起草单位： 电子工业部第十一研究所、标准化研究所
发布日期： 1995-05-25
实施日期： 1995-12-01
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更新日期： 2021年11月20日
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内容摘要

本规范规定了五氧化二钽（Ta2O5）压电晶体膜的要求，质量保证规定和检验方法。


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