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YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法

标 准 号： SJ/T 31126-1994
替代情况：
发布单位： 电子工业部
起草单位： 电子工业部第13所
发布日期： 1994-04-15
实施日期： 1994-06-01
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更新日期： 2021年09月13日
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内容摘要

本标准规定了金属有机化合物化学汽相淀积设备(简称MOCVD设备)的完好要求和检查、评定方法。

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