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碳化硅单晶电学性能的测试方法 的测试方法

标 准 号： SJ/T 11499-2015
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 工业和信息化部电子工业标准化研究院
发布日期： 2015-04-30
实施日期： 2015-10-01
点 击 数：
更新日期： 2021年04月09日
下载地址：点击这里 2.89 MB
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内容摘要

本标准规定了利用范德堡法测试6H、4H等晶型碳化硅单晶的导电类型、电阻率、迁移率、载流子浓度的方法。

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