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低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法

标 准 号： SJ/T 11489-2015
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 工业和信息化部电子工业标准化研究院
发布日期： 2015-04-30
实施日期： 2015-10-01
点 击 数：
更新日期： 2018年11月21日
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内容摘要

本标准规定了低位错密度磷化铟（InP）抛光片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法。

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