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半导体光伏制造用双套管密封装置

标 准 号: T/QGCML 1407-2023
替代情况:
发布单位: 全国城市工业品贸易中心联合会
起草单位: 武汉国伏科技有限公司、武汉安捷测网络营销有限公司、武汉阙途科技有限公司
发布日期: 2023-09-16
实施日期: 2023-10-01
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更新日期: 2023年11月23日
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内容摘要

本文件规定了半导体光伏制造用双套管密封装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。


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