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反渗透装置完好要求和检查评定方法

标 准 号： SJ/T 31455-1994
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国电子工业部
起草单位： 国营华东电子管厂
发布日期： 1994-04-15
实施日期： 1994-06-01
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更新日期： 2021年09月05日
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内容摘要

本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。
本标准适用于电子工业企业电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。

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