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真空技术 氦质谱真空检漏方法

标 准 号: GB/T 36176-2018
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位: 北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、宁波莱宝真空自动化技术有限公司
发布日期: 2018-05-14
实施日期: 2018-12-01
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更新日期: 2018年11月18日
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内容摘要

本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求,三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。
本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。

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