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洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性

标 准 号： GB/T 25915.14-2022
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 中国标准化协会、江苏富泰净化科技股份有限公司、天津大学、中国建筑科学研究院有限公司等
发布日期： 2022-12-30
实施日期： 2023-07-01
点 击 数：
更新日期： 2023年04月17日
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下载点数：30点（VIP会员免费）
内容摘要

本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据GB/T 25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。

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