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磁性溅射靶材透磁率测试方法

标 准 号: YS/T 1124-2016
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 有色金属技术经济研究院
发布日期: 2016-07-11
实施日期: 2017-01-01
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更新日期: 2017年11月12日
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内容摘要

本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。

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