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微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析

标 准 号: GB/T 28634-2012
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所
发布日期: 2012-07-31
实施日期: 2013-02-01
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更新日期: 2017年02月04日
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内容摘要

本标准规定了应用电子探针或者扫描电镜(SEM)的波谱仪(WDS),通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。
内容包括:
———定量分析原理;
———本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围;
———仪器的一般要求;
———有关试样制备、实验条件的选择、分析测量等的基本过程及报告。
本标准适用于电子束垂直入射,要求定量分析的块状试样表面平滑、均匀。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者应该从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器说明书。

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