本标准规定了一种使用扫描隧道显微镜(STM)来分析气体配送系统部件表面粗糙度的方法。
本标准适用于测定Ra 小于0.25μm 的不锈钢表面粗糙度的表征。
本标准不适用于不能产生隧道效应的厚氧化层钢铁。
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