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硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

标 准 号: YS/T 1164-2016
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 北京国晶辉红外光学科技有限公司
发布日期: 2016-07-11
实施日期: 2017-01-01
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更新日期: 2019年07月28日
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内容摘要

本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。
本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定。

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