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电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标 准 号: GB/T 37049-2018
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位: 江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司
发布日期: 2018-12-28
实施日期: 2019-04-01
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更新日期: 2019年04月08日
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内容摘要

本标准规定了电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。
本标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5 ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。

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