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硅单晶抛光片

标 准 号: GB/T 12964-2018
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 有色金属技术经济研究院等
发布日期: 2018-09-17
实施日期: 2019-06-01
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更新日期: 2018年11月06日
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内容摘要

本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200mm的硅单晶抛光片。产品主要用于制作集成电路、分立元件、功率器件等,或作为硅外延片的衬底。

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