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硅单晶切割片和研磨片

标 准 号: GB/T 12965-2018
替代情况: 替代 GB/T 12965-2005
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 浙江省硅材料质量检验中心等
发布日期: 2018-09-17
实施日期: 2019-06-01
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更新日期: 2018年11月06日
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内容摘要

本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于由直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200mm的圆形硅单晶切割片和研磨片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等,或进一步加工成抛光片。

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