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硅单晶

标 准 号: GB/T 12962-2015
替代情况: 替代 GB/T 12962-2005
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位: 有研新材料股份有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、浙江中晶科技股份有限公司
发布日期: 2015-12-10
实施日期: 2017-01-01
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更新日期: 2017年11月09日
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内容摘要

本标准规定了硅单晶的牌号及分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。
本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200mm 的硅单晶。产品主要用于制作半导体元器件。

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