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流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

标 准 号： GB/T 40566-2021
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 无锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司
发布日期： 2021-10-11
实施日期： 2022-05-01
点 击 数：
更新日期： 2021年11月29日
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下载点数：20点（VIP会员免费）
内容摘要

本文件描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定颗粒硅中氢含量的方法。

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