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洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

标 准 号: GB/T 25915.9-2018
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 中天道成(苏州)洁净技术有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司
发布日期: 2018-06-07
实施日期: 2018-10-01
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更新日期: 2018年12月29日
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内容摘要

GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05 μm~500 μm的粒子。
本部分对以下事项未予考虑:
——特定工艺的洁净度及适合性要求;
——表面的清洁步骤;
——材料特性;
——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项;
——分级和测试统计方法的选择和使用;
——粒子的其他特性,如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。

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