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硅片切割废液处理处置方法

标 准 号: HG/T 5962-2021
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 中海油天津化工研究设计院有限公司 等
发布日期: 2021-08-21
实施日期: 2022-02-01
点 击 数:
更新日期: 2022年05月10日
下载地址:点击这里 2.01 MB
下载点数:30点(VIP会员免费)
内容摘要

本文件规定了硅片切割废液(浆)的组成、处理处置方法、环保排放要求。 

本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液(浆)的处理处置。

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