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碳化硅单晶片直径测试方法

标 准 号： GB/T 30866-2014
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院
发布日期： 2014-07-24
实施日期： 2015-02-01
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更新日期： 2017年11月22日
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内容摘要

本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。

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